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  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "李嘉平".cadvisor (精準) and ckeyword.raw="銅"


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    有機金屬化學氣相沈積之先驅物CuII(OCHMeCH2NEt2)2 的合成及銅薄膜的成長
    • 化學工程系 /94/ 碩士
    • 研究生: 郭瑋軒 指導教授:
    • 本研究之目的為合成CuII(OCHMeCH2NEt2)2先驅物,並且利用此先驅物以化學氣相沈積的方法成長銅薄膜,藉由調整沈積溫度及沈積時間,探討成長出高純度且具有良好之平坦度、緻密性、連續性及低電阻…
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    二階段有機金屬化學氣相沉積銅晶種層及其在積體電路之銅製程上的應用
    • 化學工程系 /94/ 博士
    • 研究生: 李欣浤 指導教授:
    • 本研究主要提出一種新穎的二階段化學氣相沉積(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition)成長銅晶種層(Seed layer)於氮化鉭(TaNx)阻障層薄膜的應用之…
    • 點閱:286下載:1
    • 全文公開日期 2006/10/08 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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